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多晶硅缺陷分析儀/太陽能硅板檢測儀DJM-200C

晶圓檢測儀，多晶硅缺陷分析儀，太陽能硅板檢測儀，太陽能光伏單晶硅片缺陷分析
一：蔡康晶圓檢測儀，多晶硅缺陷分析儀，太陽能硅板檢測儀DJM-200C概述和硅片缺陷檢測方法和應(yīng)用范圍：
（一）光伏硅片質(zhì)量檢測中，有很多項(xiàng)目，比如：破片、缺角、孔洞和翹曲等等。為什么會有這些檢測項(xiàng)目，有些項(xiàng)目很容易理解，比如：破片、缺角等不僅會影響賣相，還會造成后續(xù)電池片生產(chǎn)的問題，甚至影響轉(zhuǎn)換效率。但孔洞，尤其是很小很小的孔洞，似乎沒什么大不了。其實(shí)不然，新的研究表明，小小的孔會造成大大的問題。就好像千里之堤，毀于蟻穴。 
　　1.孔洞：大量存在，3～10um，人眼不易發(fā)現(xiàn)。必須用背光源。 
　　孔洞的危害：經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)，硅晶片上孔洞會造成加工成電池片的短路，降低電池片的轉(zhuǎn)換效率；如果因?yàn)楣杵系目锥葱纬傻亩搪穳K剛好落在柵線上，就會造成大面積的短路，加大電池片的漏電流，影響轉(zhuǎn)換效率。所以必須檢測孔洞，一般人眼能分辨0.3mm以上的孔洞，0.003～0.01mm的孔洞只能借助與光學(xué)的檢測手段來實(shí)現(xiàn)。檢測時(shí)需采用高亮度的白色背光源，穿透力強(qiáng)的光經(jīng)過孔洞后，部分頻率的分量會使相機(jī)感光，形成藍(lán)綠色的成像。相機(jī)的像素分辨率需要做得很高，比如一個(gè)像素等于0.005mm，這樣有機(jī)會捕捉到3um～10um孔透過的光，并由軟件識別。 
　　2.硅片翹曲或彎曲：不能忽視。硅片翹曲不僅使得做成電池片后尺寸不合乎要求，而且還會造成斷柵。 
　　研究表明：因?yàn)楣杵N曲，做成電池片后，通過EL檢測，發(fā)現(xiàn)里面有絲狀裂紋或花斑，但做成模組后，花斑情況有改善。分析表明，因?yàn)殡姵仄N曲（根源上是硅片翹曲），在絲印時(shí)會造成印刷不均勻，形成斷柵。 
　　硅片的翹曲需要采用3D的檢測方法，具體表征硅片翹曲的指標(biāo)有TTV、MTV等等。檢測的方法可以采用將結(jié)構(gòu)光（線激光）投射到硅片上，用相機(jī)進(jìn)行拍照；通過軟件分析光線成像的幾何特征，可以計(jì)算出TTV、MTV等指標(biāo)，跟標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比對，可以得出硅片翹曲是否在可以接受的范圍。 
　　以上兩點(diǎn)，是新的研究發(fā)現(xiàn)。如果檢測不到位，“后果很嚴(yán)重”。電池片廠家在來料檢測上，不可不注意。 
　　產(chǎn)品介紹： 
　　蔡康晶圓硅片缺陷觀測儀（DJM-200C），于對硅片的缺陷進(jìn)行觀察，效果非常明顯，包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等。 
　　實(shí)時(shí)對圖像進(jìn)行分析、測量和統(tǒng)計(jì)，提高傳統(tǒng)光學(xué)儀器的使用內(nèi)涵。配合投影儀和計(jì)算機(jī)等顯示、存儲設(shè)備，能更好的觀測和保存研究結(jié)果； 
　　硅片缺陷觀測儀-產(chǎn)品特點(diǎn) 
　　■適用于對硅片的缺陷觀察效果，非常明顯，包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等； 
　　■使硅片缺陷觀察工作簡單化，準(zhǔn)確化，同時(shí)降低此項(xiàng)工作強(qiáng)度； 
　　■實(shí)時(shí)對圖像進(jìn)行分析、測量和統(tǒng)計(jì)，提高傳統(tǒng)光學(xué)儀器的使用內(nèi)涵。配合投影儀和計(jì)算機(jī)等顯示、存儲設(shè)備，能更好的觀測和保存研究結(jié)果； 
　　■使用　數(shù)字CCD攝像機(jī)　感光芯片，具有體積小，技術(shù)先進(jìn)，像素較高，成像清晰、線條細(xì)膩、色彩豐富； 
　　■傳輸接口為　USB2.0高速接口，軟件模塊化設(shè)計(jì)； 
　　■有效分辨率為　1000萬像素； 
　　■所配軟件能兼容　windows7/8/10　操作系統(tǒng)。

（三）蔡康太陽能光伏單晶硅片缺陷分析儀技術(shù)介紹和儀器組成

   一、大平臺太陽能硅片缺陷分析金相顯微鏡儀器的主要用途和特點(diǎn)
       DJM-200C系列反射明暗場大平臺太陽能硅片缺陷分析金相顯微鏡可進(jìn)行明視場、暗視場、簡易偏光觀察。是半導(dǎo)體檢驗(yàn)、電路封狀、電路基板、材料等行業(yè)理想儀器。 DMM-990大平臺晶圓缺陷分析金相顯微鏡具有圖像清晰、襯度好，造型美觀，操作方便等特點(diǎn)，是材料學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器。適用于學(xué)校、科研、工廠等部門使用。 DMM-990高級正置金相顯微鏡，選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡，是針對半導(dǎo)體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為工業(yè)金相顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
性能特點(diǎn) 
▲      配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。 
▲      粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:0.8μm。
▲      配置大移動范圍栽物臺，移動范圍：8英寸*8英寸（204mm*204mm)。 
▲      三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，明視場/，可進(jìn)行100%透光攝影。
▲      6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。 
   DMM-990C電腦型三目正置大平臺單晶硅缺陷分析儀金相顯微鏡是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)成像技術(shù)結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項(xiàng)高科技產(chǎn)品。既可人工觀察金相圖像,又可以在數(shù)碼相機(jī)顯示器上很方便地適時(shí)觀察金相圖像，并可隨時(shí)捕捉記錄金相圖片,從而對金相圖譜進(jìn)行分析,評級等,還可以保存或打印出高像素金相照片。

太陽能光伏單晶硅片缺陷分析儀DJM-200C


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